在真空設(shè)備發(fā)生故障時(shí)，不要急于下結(jié)論，不要急于拆調(diào)設(shè)備，要仔細(xì)分析故障現(xiàn)象，先用真空儀表大概判斷設(shè)備狀態(tài)。在保證真空獲取無問題的前提下，對真空泵進(jìn)行獨(dú)立測試，并對整個(gè)真空裝置進(jìn)行檢測。根據(jù)問題討論的原則，進(jìn)行真空檢漏，選擇檢漏儀和檢漏方式。進(jìn)行靜壓試驗(yàn)，判斷漏、漏氣體。再分段整體檢漏，找出漏點(diǎn)，確定其漏率大小。按照以上的真空維修方案，在理論與實(shí)踐的結(jié)合上，我們對幾種真空冶金爐、真空熱爐、真空鍍膜機(jī)、真空釬焊爐及各種真空校準(zhǔn)檢測裝置進(jìn)行了實(shí)踐，取得了較好的效果。

檢查真空封泥方法，將真空封泥逐個(gè)封住可疑漏點(diǎn)，注意觀察真空度的變化，假如貼在真空封泥上的真空度上升很快，脫落有明顯的下降，說明這是漏點(diǎn)。該方法在實(shí)際應(yīng)用中，應(yīng)用較少。

真空儀的漏電檢測方法，一些真空計(jì)的讀數(shù)，與氣體的種類有關(guān)，如熱偶計(jì)、離子化真空計(jì)。選擇合適的氣體或液體作示漏物，這些真空計(jì)便成了檢測器，一般鍍膜機(jī)上都有真空計(jì)，使用方便，也是一種常用的檢漏方法。熱偶計(jì)儀使用的漏液物質(zhì)有，二氧化碳、丁烷、酒精等，熱偶計(jì)儀反應(yīng)緩慢，需要仔細(xì)觀察。離子測漏儀使用的示漏物有氦、氬、酒精等。

本方法只適用于玻璃真空系統(tǒng)，高頻火花檢漏。首先把系統(tǒng)抽真空，高頻火花檢漏器的火花端部沿玻璃表面移動(dòng)，火花集中成束形成亮點(diǎn)，即為漏孔位置。