真空設(shè)備有很多種。根據(jù)你需要的不同真空度，選擇不同類型的設(shè)備，一方面是設(shè)備本身的抽氣速度和極限真空度，另一方面是你所處環(huán)境的密封性。實驗中常用的真空設(shè)備，如循環(huán)水泵，是最常見的真空，可用于抽濾和基本旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)。如果是比較好的，隔膜泵，多級隔膜泵，旋葉片泵，油泵，分子渦輪泵等等。

真空設(shè)備維護的重點是判斷故障。真空抽不上來可能有幾個原因。需要查明原因是什么，是真空機組抽真空能力不足還是泄漏率高；或者兩者都有。這時要耐心觀察記錄，找出故障。例如，當(dāng)抽空時間相同且真空度較低時，關(guān)閉高壓閥。如果真空計的指針快速下降，大多數(shù)情況下真空室會泄漏。這時候首先要找到泄漏點。比如真空計指針下降慢，大多數(shù)情況下真空機組抽真空能力不夠。這時可以重點找真空泵和閥門，看看哪里有泄漏，或者擴散泵油被污染氧化；或者前管路密封不好，泵油不足；或泵油乳化、軸封漏油、閥門損壞等故障。

用戶最頭疼的是檢測漏檢率的問題。泄漏分為內(nèi)部泄漏和外部泄漏；外漏更容易檢測，內(nèi)漏更難。用火焰法可以找到較大的泄漏點，利用氣流可以使火焰偏離的原理，先抽真空，用蠟燭或打火機在可疑點周圍逐步搜索。如果發(fā)現(xiàn)火焰偏離到泄漏點，就可以找到泄漏點。我們可以用我們自制的檢漏儀來檢測旋轉(zhuǎn)葉片泵工作范圍內(nèi)的泄漏，現(xiàn)在我們已經(jīng)生產(chǎn)了ZHC.1儀器。檢漏儀采用ZJ.2電離規(guī)管，連接到旋轉(zhuǎn)葉片泵的吸入口進行檢測。如果是擴散泵機組，可以檢測l0Pa級的泄漏率。