如果真空設(shè)備出現(xiàn)故障，我們的經(jīng)驗就是不要急于下結(jié)論，不要急于拆卸和調(diào)整設(shè)備，要認(rèn)真分析故障現(xiàn)象，首先要使用真空儀器粗略地判斷設(shè)備狀態(tài)。然后分別測試真空泵和整個真空單元，以確保毫無問題地獲得真空。進(jìn)行真空檢漏，根據(jù)問題討論的原理進(jìn)行檢漏，選擇檢漏儀和檢漏方法。執(zhí)行靜態(tài)增壓測試以確定空氣泄漏和放氣。然后進(jìn)行分段和整體泄漏檢測以找出泄漏點并確定其泄漏率。根據(jù)上述真空維護(hù)計劃，結(jié)合理論與實踐，實踐了一些真空冶金爐，真空加熱爐，真空鍍膜機，真空釬焊爐以及各種真空標(biāo)定檢測裝置，成功解決了設(shè)備故障，取得了良好的效果。

真空系統(tǒng)的故障通常分為兩類：一類是真空泵組和測量系統(tǒng)的故障，另一類是真空系統(tǒng)的泄漏。對于這一類故障，請檢查真空泵的極限真空度或更換質(zhì)量好的真空計進(jìn)行確認(rèn)。對于第二種類型的故障，需要進(jìn)行泄漏檢測。半導(dǎo)體設(shè)備的泄漏檢測中經(jīng)常使用兩種方法：靜壓泄漏檢測和He質(zhì)譜泄漏檢測。靜壓泄漏檢測方法是用閥門將真空室與真空泵組分開，并測量其內(nèi)部壓力的變化。 He質(zhì)譜泄漏檢測方法較為復(fù)雜。

在容器的制造過程中執(zhí)行多次泄漏檢測是超高真空容器制造過程的主要方面，與一般的機械制造過程不同。超高真空容器的泄漏檢測不同于一般的高真空泄漏檢測。一般而言，不允許在容器中泵送水壓和氣壓的正壓泄漏檢測方法。由于超高真空容器的壁薄且焊接接頭的強度低，正壓泄漏檢測可能會損壞容器并污染干凈的真空容器。因此，氦質(zhì)譜儀檢漏儀用于超高真空容器的檢漏。這種檢漏方法可以發(fā)現(xiàn)非常小的泄漏，檢漏精度為10-10 Pa.L / s。