真空檢漏法:是指管道和檢漏儀的敏感元件處于真空狀態(tài)，將泄漏物質(zhì)施加到管道外部的方法。如果有泄漏孔，泄漏物質(zhì)將通過泄漏孔進(jìn)入被測(cè)零件和敏感元件的空間，泄漏物質(zhì)將被敏感元件檢測(cè)到。主要有真空計(jì)法、靜態(tài)升壓法和氦質(zhì)譜檢漏儀法。

氦質(zhì)譜檢漏儀因其靈敏度高、性能穩(wěn)定而廣泛應(yīng)用于真空系統(tǒng)。對(duì)于大型真空系統(tǒng)，考慮到檢漏的經(jīng)濟(jì)性和可操作性，常采用注氦真空檢漏法。檢漏一般要求檢漏靈敏度高，反應(yīng)和去除時(shí)間短，但容器體積過大容易造成兩者之間的矛盾，造成漏檢、漏孔位置難以確定，甚至無法實(shí)施檢漏等問題。

氦氣檢漏法被認(rèn)為是世界上常用的泄漏檢測(cè)方法之一。消除了氣泡檢漏法檢漏靈敏度低、判斷困難、誤判多的缺點(diǎn)；也消除了鹵素檢漏法易受干擾、維護(hù)成本高等缺點(diǎn)。氦氣檢漏具有檢漏靈敏度高、準(zhǔn)確、清潔、無腐蝕、無干擾、顯示直觀清晰等優(yōu)點(diǎn)。北京易科創(chuàng)新真空系列充氦回收檢漏系統(tǒng)(以下簡稱易科創(chuàng)新檢漏系統(tǒng))不僅具有汽車空調(diào)蒸發(fā)器、冷凝器、壓縮機(jī)檢漏的普遍優(yōu)勢(shì)，還具有操作方便、工作節(jié)奏快、誤判率低的獨(dú)特特點(diǎn)。

氦質(zhì)譜檢漏儀是一種使用示蹤氣體氦的特殊檢漏儀。性能穩(wěn)定，靈敏度高。它是真空檢漏技術(shù)中的成熟設(shè)備，應(yīng)用廣泛。為了工廠工人的安全和環(huán)境保護(hù)，氦質(zhì)譜檢漏儀已經(jīng)成為化工管道泄漏檢測(cè)的選擇。