首先，解釋擴散泵的工作原理。擴散泵依靠真空泵內(nèi)部沸騰的油向上蒸發(fā)，向上蒸發(fā)的泵油通過泵芯的反射改變其運動方向向下運動(泵芯一般為三層結(jié)構(gòu)，類似倒碗)。向下移動時，會帶走頂部的氣體，向下移動。氣體到達(dá)底部時，由前級泵通過擴散泵底部的排氣口抽走，通過連續(xù)循環(huán)達(dá)到抽真空的效果。

旋片真空泵。它具有結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、重量輕、噪音低、振動小的優(yōu)點。因此適用于擴散泵的前置泵，更適合配套精密儀器和實驗室使用。例如:質(zhì)譜儀、冰箱流水線、真空冷凍干燥機等。可分為:①自凈擴散泵:泵液中的揮發(fā)性雜質(zhì)通過專用機械輸送到出口而不返回鍋爐的油擴散泵；②分餾擴散泵:該泵有分餾裝置，使蒸汽壓力較低的工作液蒸汽進入高真空噴嘴，而蒸汽壓力較高的工作液蒸汽進入低真空噴嘴。它是一個多級油擴散泵。

擴散泵泵送系統(tǒng)可以適當(dāng)配備一些傳感器，當(dāng)出現(xiàn)誤操作、漏孔、冷卻不良、泵液不足時，傳感器可以發(fā)出信號關(guān)閉系統(tǒng)或保持系統(tǒng)處于安全狀態(tài)。真空系統(tǒng)中的氣動閥和電磁閥應(yīng)能在設(shè)備出現(xiàn)故障時立即動作，使系統(tǒng)處于安全狀態(tài)。當(dāng)壓縮空氣或電源故障時，關(guān)閉除粗泵放氣閥以外的所有閥門。應(yīng)打開粗糙泵的放氣閥，以防止機械泵油回流到粗糙泵管道中。