油擴(kuò)散泵作為低蒸汽壓油運(yùn)行。目的是通過容積式泵獲得比僅可能獲得的更高的真空(低壓)。雖然它的使用主要與高真空范圍(低至10-9毫巴)有關(guān)，但今天的擴(kuò)散泵產(chǎn)生的壓力接近10-10毫巴，適用于現(xiàn)代流體和附件。擴(kuò)散泵之所以具有高真空和超高真空的吸引力，是因?yàn)樗鼘?duì)所有氣體的抽吸能力強(qiáng)，單位成本的抽吸速度低，而且它的速度與其他類型的泵在相同的真空范圍內(nèi)使用。擴(kuò)散泵不能直接排放到大氣中，因此通常使用反向機(jī)械泵來保持約0.1毫巴的出口壓力。

油擴(kuò)散泵主要由泵體、擴(kuò)散噴嘴、蒸汽管、油底殼、加熱器、擴(kuò)散器、冷卻系統(tǒng)和噴嘴組成。當(dāng)前級(jí)泵將油擴(kuò)散泵預(yù)抽至低于1帕的真空時(shí)，油底殼可以開始加熱。沸騰時(shí)，噴嘴噴出高速蒸氣流，熱的運(yùn)動(dòng)氣體分子擴(kuò)散到蒸氣流中，與定向運(yùn)動(dòng)的油蒸氣分子碰撞。因此，氣體分子獲得動(dòng)量，產(chǎn)生與油蒸汽分子相同方向的定向流動(dòng)。到前一級(jí)，油蒸汽冷凝釋放氣體分子，被前一級(jí)泵抽走，達(dá)到抽氣的目的。

高速噴射產(chǎn)生沸騰的液體，并通過噴射蒸汽引導(dǎo)組件。在噴嘴內(nèi)部，層流變成超音速和分子。通常用于戰(zhàn)斗機(jī)，以加強(qiáng)抽水作業(yè)。擴(kuò)散泵采用外部冷卻或氣流或水管。由于擴(kuò)散泵外殼外部蒸汽噴射冷卻的影響，工作流體被濃縮、回收并被指示返回鍋爐。泵送氣體繼續(xù)流入的壓力不斷增大，泵基礎(chǔ)流經(jīng)擴(kuò)散泵出口，在此壓縮輔助前級(jí)機(jī)械泵，排出環(huán)境壓力。