油擴散泵的工作原理為低蒸汽壓油品。這樣做的目的是使采用容積泵的更高真空(低壓)的泵能夠僅比使用更多。盡管其用途主要是在高真空范圍內(降至10-9毫巴)，但今天擴散泵產生的壓力接近10-10毫巴時，便可用于現(xiàn)代流體和配件。讓擴散泵高，超高真空更吸引人的是它的高真空抽氣和抽速的單位成本低，速度比其它類型的泵都要快。該擴散泵不能直接排放到大氣中，以前的級別的機械泵一般用來維持出口壓力大約0.1毫巴。

在將擴散泵拆裝到系統(tǒng)中后，若系統(tǒng)內的一切都嚴格按照上述操作程序進行抽氣，則應能達到泵的原位極限壓力；如果仔細反復地調整各噴口間隙，真空度還應增加。若真空度不上升，則先檢查泵所在系統(tǒng)是否有超過允許的漏氣率；同時檢查擴散泵加熱器是否燒斷，供電電壓是否正常，泵冷卻是否正常。若以上各方面都正常，則可認為是泵芯裝配存在問題，如裝歪、噴管間隙不當、泵芯裝配前未清洗、有機溶劑未烘干、泵油不足或泵內裝入劣質泵油、加熱功率調節(jié)不當?shù)取?/p>

真空系統(tǒng)的返流包括擴散泵泵液從擴散泵轉移到真空室，以及機械泵油對系統(tǒng)的有機污染物，尤其是真空室。油液擴散泵工作時，無論采用哪種泵油，即使泵口加冷阱，也總會有部分油液回流至高真空端。他們在擴散泵口設定的壓力，有時要比泵壁溫度下的飽和油蒸氣壓力大得多。這種情況不僅影響到真空系統(tǒng)的極限壓力，也給被抽真空容器帶來了污染，因此返流率是擴散泵系統(tǒng)的主要檢測指標。