根據(jù)擴(kuò)散泵工作原理，真空泵基本可分為氣體收集泵和氣體輸送泵兩類，真空泵主要包括水環(huán)泵、往復(fù)泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴(kuò)散泵，目前我國(guó)國(guó)民經(jīng)濟(jì)各行業(yè)使用的真空泵都是指采用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)方法，對(duì)被抽容器進(jìn)行抽真空，從而獲得真空的裝置或設(shè)備。

為達(dá)到特定的工藝要求，在真空系統(tǒng)中，用來(lái)獲得所需真空度的真空泵，如真空鍍膜機(jī)中的油擴(kuò)散泵，即為主泵。前級(jí)壓強(qiáng)：用來(lái)維持某一真空泵的前級(jí)壓強(qiáng)低于其臨界前級(jí)壓強(qiáng)的真空泵。旋片或滑閥泵是如羅茨泵前配置的前級(jí)泵。三、粗抽油泵：從大氣壓下開(kāi)始抽氣，然后把系統(tǒng)壓力抽到另一個(gè)真空泵上，使其開(kāi)始工作。例如真空鍍膜機(jī)上的滑閥泵，是粗油泵。

在將擴(kuò)散泵拆裝到系統(tǒng)中后，若系統(tǒng)內(nèi)的一切都嚴(yán)格按照上述操作程序進(jìn)行抽氣，則應(yīng)能達(dá)到泵的原位極限壓力；如果仔細(xì)反復(fù)地調(diào)整各噴口間隙，真空度還應(yīng)增加。若真空度不上升，則先檢查泵所在系統(tǒng)是否有超過(guò)允許的漏氣率；同時(shí)檢查擴(kuò)散泵加熱器是否燒斷，供電電壓是否正常，泵冷卻是否正常。若以上各方面都正常，則可認(rèn)為是泵芯裝配存在問(wèn)題，如裝歪、噴管間隙不當(dāng)、泵芯裝配前未清洗、有機(jī)溶劑未烘干、泵油不足或泵內(nèi)裝入劣質(zhì)泵油、加熱功率調(diào)節(jié)不當(dāng)?shù)取?/p>