隨著經(jīng)濟(jì)和技術(shù)的快速發(fā)展，各種功能薄膜已經(jīng)廣泛應(yīng)用于現(xiàn)代工業(yè)的各個(gè)領(lǐng)域。在各種制備薄膜的方法中，真空蒸發(fā)和磁控濺射是兩種最重要的方法。目前，電阻加熱真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)具有成膜工藝簡(jiǎn)單、操作方便的優(yōu)點(diǎn)，但隨著薄膜在高科技領(lǐng)域的興起和發(fā)展，特別是微電子和光電產(chǎn)業(yè)的快速...

真空度低一般有四個(gè)原因。一是各部分設(shè)備集中到空氣中，增加了真空設(shè)備的額外負(fù)擔(dān)；其次，冷卻水的缺乏不能使二次蒸汽及時(shí)凝結(jié)，嚴(yán)重影響真空設(shè)備的運(yùn)行；三是冷卻水溫度過(guò)高，集中加熱產(chǎn)生的大量二次蒸汽不能及時(shí)冷凝，濃縮設(shè)備真空度會(huì)變低；第四，由于所用蒸汽壓力過(guò)高，大量的...

在真空技術(shù)中，真空獲得部分是一個(gè)重要的部分。由于工作模塊的鍍膜要求高附著力，鍍膜過(guò)程需要良好的背景真空，因此合理選擇真空獲取設(shè)備，實(shí)現(xiàn)高真空度至關(guān)重要。目前還沒(méi)有一臺(tái)泵能從大氣壓工作到接近超高真空。所以真空不是一個(gè)真空設(shè)備和方法能達(dá)到的，必須幾個(gè)泵一起使用，比...

真空檢漏法:是指管道和檢漏儀的敏感元件處于真空狀態(tài)，將泄漏物質(zhì)施加到管道外部的方法。如果有泄漏孔，泄漏物質(zhì)將通過(guò)泄漏孔進(jìn)入被測(cè)零件和敏感元件的空間，泄漏物質(zhì)將被敏感元件檢測(cè)到。主要有真空計(jì)法、靜態(tài)升壓法和氦質(zhì)譜檢漏儀法。氦質(zhì)譜檢漏儀因其靈敏度高、性能穩(wěn)定而廣泛...

在真空設(shè)備發(fā)生故障時(shí)，不要急于下結(jié)論，不要急于拆調(diào)設(shè)備，要仔細(xì)分析故障現(xiàn)象，先用真空儀表大概判斷設(shè)備狀態(tài)。在保證真空獲取無(wú)問(wèn)題的前提下，對(duì)真空泵進(jìn)行獨(dú)立測(cè)試，并對(duì)整個(gè)真空裝置進(jìn)行檢測(cè)。根據(jù)問(wèn)題討論的原則，進(jìn)行真空檢漏，選擇檢漏儀和檢漏方式。進(jìn)行靜壓試驗(yàn)，判斷漏...

如果擴(kuò)散泵或機(jī)組長(zhǎng)期使用后泵送性能逐漸變差，即極限真空度和泵送速度降低，而其他條件正常，主要原因是擴(kuò)散泵油逐漸氧化，質(zhì)量變差。此時(shí)，應(yīng)更換新的擴(kuò)散泵油。換油步驟:首先拆下擴(kuò)散泵，取出泵芯，按要求清洗并干燥泵芯，然后正確組裝并添加新油。(3)如果擴(kuò)散泵由于特殊原...