為了保證真空設(shè)備或系統(tǒng)良好的密封性能，僅在設(shè)備安裝后才能找到泄漏孔的位置是遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠的。在真空設(shè)備或系統(tǒng)的設(shè)計、制造、調(diào)試和使用過程中，需要隨時進(jìn)行真空檢漏。

一、鍍膜設(shè)備廠家設(shè)計中的注意事項(xiàng)

1.根據(jù)設(shè)備的工藝要求確定真空設(shè)備的允許泄漏率，并根據(jù)這個總泄漏率確定各部件的允許泄漏率。

2.根據(jù)設(shè)備允許泄漏率等指標(biāo)，在設(shè)計階段初步確定采用的檢漏方法，并將其作為指導(dǎo)調(diào)試驗(yàn)收的基本原則之一。

3.根據(jù)設(shè)備或部件的允許泄漏率指標(biāo)，確定設(shè)備的密封、連接方式和整體加工精度，以及哪種動密封形式能滿足要求。例如，法蘭用金屬或橡膠密封。

4.設(shè)計容器的結(jié)構(gòu)強(qiáng)度時，如果采用壓力法進(jìn)行泄漏檢測，應(yīng)考慮被測零件的耐壓性和結(jié)構(gòu)強(qiáng)度。

5.在選擇零件的結(jié)構(gòu)材料時，考慮可能被工作介質(zhì)和泄漏氣體腐蝕的材料是否會造成損壞。

6.在結(jié)構(gòu)設(shè)計過程中，應(yīng)在容器或系統(tǒng)上預(yù)留必要的檢漏儀備用接口，以便在設(shè)備組裝和調(diào)試過程中進(jìn)行檢漏。特別是對于大型復(fù)雜的管道系統(tǒng)，通常需要采用分段檢漏的方法，因此管道應(yīng)設(shè)置分段隔離閥，并在每個隔離段上預(yù)留檢漏接口。

7.設(shè)計零件結(jié)構(gòu)時，盡量避免采用可能干擾檢漏的設(shè)計方案。比如真空室的螺絲孔不能是盲孔，因?yàn)槁萁z孔內(nèi)部剩余空間的氣體在安裝螺絲后只能通過螺紋間隙逸出，造成虛漏。從而延長系統(tǒng)的泵送時間并干擾正常的泄漏檢測。如圖所示，真空檢漏中不應(yīng)出現(xiàn)的結(jié)構(gòu)。

8.同樣，結(jié)構(gòu)設(shè)計中不允許連續(xù)雙面焊接和多層密封圈結(jié)構(gòu)，因?yàn)檫@樣會在中間形成“寄生產(chǎn)物”，里面的氣體會形成虛漏；但當(dāng)內(nèi)外雙面焊縫或密封圈同時泄漏時，泄漏氣體穿越雙層焊縫的響應(yīng)時間過長，無法正常檢測泄漏。

9.磁控真空鍍膜機(jī)設(shè)計焊接結(jié)構(gòu)時，盡量減少最終組裝后無法檢測到的焊縫。

二、真空設(shè)備制造過程中的泄漏檢測

在設(shè)備的加工階段，需要遵循加工工藝(尤其是焊接工藝)及時檢測半成品零件的泄漏。對于制造后不能接觸、檢查或修理的零件，應(yīng)嚴(yán)格檢查焊接質(zhì)量，不合格的零件應(yīng)及時重新焊接、修理和重新檢查，符合要求后方可進(jìn)行下一道工序。特別是對于大型容器的組裝焊接和加工，中間過程的檢漏非常關(guān)鍵，需要專門的檢漏工具(如檢漏盒和盲板等)。)應(yīng)在必要時進(jìn)行設(shè)計和制造。對于帶有雙層壁水冷套的真空室體，先將內(nèi)室壁裝焊并檢查泄漏情況，確認(rèn)無泄漏孔后再裝焊外室壁。同理，對于室壁外側(cè)有保溫層，難以拆卸的情況，必須嚴(yán)格檢查室壁有無滲漏，才能對外部結(jié)構(gòu)進(jìn)行涂覆。

在條件允許的情況下，所有真空法蘭及其連接管道(包括真空室法蘭和室壁)應(yīng)采用焊后加工法蘭面的工藝。即使焊后未加工的法蘭在安裝調(diào)試階段可能滿足密封要求，但在設(shè)備使用過程中，熱、振動等因素可能會誘發(fā)焊接應(yīng)力的釋放，導(dǎo)致法蘭變形，密封性能下降。