維修真空設(shè)備的要點是判斷故障。往往是真空抽不上去，原因可能有幾個，一定要搞清楚是什么原因，也許真空機組的抽氣能力不夠，也可能是漏率偏高，又或者兩種可能都有。這時，應(yīng)該耐心觀察和記錄，從中找出故障。比如，抽空時間相同，而真空度偏低，這時候關(guān)閉主閥，如真空計指針很快下降，多數(shù)情況是真空室漏了，這時候應(yīng)先查出漏點。如真空計指針下降很慢，多數(shù)情況是真空機組抽氣能力不夠，這時可將重點放到查找真空泵及閥門的問題上來，看是哪里出現(xiàn)了泄漏，或是擴散泵油污染了，氧化了；或是前級管路密封不好，泵油不足；或是泵油乳化，軸封漏油等故障。

一、檢測漏率：

  用戶頭疼的問題就是檢測漏率。漏一一分內(nèi)漏和外漏，外漏比較好檢測，內(nèi)漏則難辦些。較大的漏點可以用火焰法，利用氣流能使火焰偏離的原理，先抽上真空，比如用蠟燭或打火機在可疑點附近逐步查尋，會發(fā)現(xiàn)火苗向漏點偏移，則可找到漏點。

（1）漏和微漏的查找：

 小漏和微漏就比較難查了，大家常用的方法是利用在高真空狀態(tài)下電離管對某些氣體反應(yīng)敏感來檢漏，比如丙酮或乙醇，用醫(yī)用注射器向可疑的地方噴射丙酮或乙醇，噴到漏點時，電離計的指針會有明顯擺動。用這種方法檢漏一定要有耐心，一定要等到電離計的示值穩(wěn)定了――也就是真空機組的抽氣能力和漏率平衡了，然后再噴射。是反復(fù)幾次，確認漏點。（2）漏和外漏的查找：內(nèi)漏多發(fā)生在有水冷套的設(shè)備上，查外漏沒有發(fā)現(xiàn)疑點，但是卻有以下現(xiàn)象：機械泵的抽速明顯偏低、真空計示值低、機械泵油很快乳化、真空室內(nèi)的鐵基零部件明顯銹蝕。具備以上條件基本可以確定有內(nèi)漏。例：有一臺25 kg中頻爐，配有2X—70旋片泵和兩臺ZJ—150羅茨泵加到一起抽也只抽到10 Pa, ZJ—150泵的作用顯現(xiàn)不出來，沒發(fā)現(xiàn)有外漏，卻具備了機械泵油很快乳化，真空室內(nèi)鐵基件明顯銹蝕的條件，解體設(shè)備清理干凈后用通冷卻水的方法查出是爐蓋漏水，剩下就是查出漏點。先把內(nèi)壁清理干凈，再通冷卻水，看有無濕潤點，濕潤處就是漏點。

故障點的處理：

  找出故障點就可以因地制宜地進行處理了，簡單的辦法就是換件，小到膠圈，螺栓；大到閥門，真空泵，只要手頭上有的都可以換。對于需要焊接的部位應(yīng)按要求來進行，焊接后還需確認是否達到了要求。