本鍍膜設(shè)備是在優(yōu)質(zhì)浮法玻璃上采用真空磁控濺射技術(shù)，中頻濺射技術(shù)，并配以國(guó)際先進(jìn)的控制系統(tǒng)，鍍制So，/ITO膜層，生產(chǎn)過(guò)程全部自動(dòng)，連續(xù)進(jìn)行。

立式磁控濺射鍍膜機(jī)主要組成部分：

1.真空室：不銹鋼制造，立式，外壁通冷卻水，內(nèi)襯不銹鋼擋板。

2.真空系統(tǒng)：蝸輪分子泵系統(tǒng)。

3.蒸發(fā)源：直流磁控濺靶和中頻磁控濺射靶分別固定在真空室兩側(cè)。

4.工件烘烤：采用不銹鋼管狀加熱器配合均熱板，確?；訜峋鶆蛐?。

5.充氣系統(tǒng)：氣體質(zhì)量流量計(jì)和壓強(qiáng)自動(dòng)控制儀。

6.電氣控制系統(tǒng)：觸膜屏與PLC自動(dòng)控制，人機(jī)對(duì)話方式來(lái)實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的數(shù)據(jù)顯示；操作與控制。

7.水冷系統(tǒng)：真空室冷卻和陰極冷卻，有水壓保護(hù)開(kāi)關(guān)的水流開(kāi)關(guān)。

主要技術(shù)參數(shù)：

總功率：350kw

極限真空壓力：7X10+pa

平均生產(chǎn)周期：100秒/架

直流磁控靶功率：20kw

中頻磁控靶功率：20kw

基片尺寸：750×1200（mm）